净化车间为何要控制温湿度?
净化车间为什么要控制温湿度?主要作用是什么,具体有什么措施?
净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,shou选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,净化工程公司,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,净化工程,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,空气净化工程,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
净化工程之无尘车间的净化原理
净化原理
气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程,净化工程有限公司,即可达到净化目的。
技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;
压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;
温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%;
照度:≥300Lux。
结构材料
1.洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2.地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
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