丝杆的原理
回珠管两端还起挡珠的作用，以防滚珠沿滚道掉出。2.特点：·传动效率高：机械效率可高达92%~98%。·摩擦力小：主要是用滚珠的滚动代替了普通丝杆螺母副的滑动。·轴向间隙可消除：也是由于滚珠的作用，提高了系统的刚性。经预紧后可消除间隙。
离子束刻蚀机滚珠丝杆
刻蚀机工作台是安装刻蚀试件的基准平台，运动器材丝杆， 是试件扫描离子束进行持续动态刻蚀的载体，供应运动器材丝杆， 它安装在两条滚动导轨上，丝杆， 扫描运动以设置在真空室外面的伺服电机为动力源，龙门铣设备丝杆， 经1∶30 行星减速器细化步距， 再经两对1∶1 的螺旋伞齿轮传动轴， 穿过磁流体密封轴承， 将运动传给真空室内的离子束刻蚀机滚珠丝杆 ， 从而带动装载试件的工作台沿导轨作往复运动。
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