离子束刻蚀机滚珠丝杆
刻蚀机工作台是安装刻蚀试件的基准平台， 是试件扫描离子束进行持续动态刻蚀的载体， 它安装在两条滚动导轨上， 扫描运动以设置在真空室外面的伺服电机为动力源， 经1∶30 行星减速器细化步距， 再经两对1∶1 的螺旋伞齿轮传动轴， 穿过磁流体密封轴承，升降机丝杆厂家， 将运动传给真空室内的离子束刻蚀机滚珠丝杆 ， 从而带动装载试件的工作台沿导轨作往复运动。
丝杆传动的分类
蜗杆螺旋面是直线刀刃形成的不可展直纹面而不是由包络产生的，升降机丝杆出售，难以实现磨削，这种蜗杆制造钢筋工艺比较复杂，升降机丝杆，不易获得高精度的传动，升降机丝杆供应，这是直廓环面蜗杆传动的主要缺点。 “修整型”直廓环面蜗杆螺旋面的形成，基本上与“原始型”相同，不同之处在于加工时根据设计要求的修形曲线。
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