离子束刻蚀机滚珠丝杆
刻蚀机工作台是安装刻蚀试件的基准平台， 是试件扫描离子束进行持续动态刻蚀的载体， 它安装在两条滚动导轨上， 扫描运动以设置在真空室外面的伺服电机为动力源， 经1∶30 行星减速器细化步距， 再经两对1∶1 的螺旋伞齿轮传动轴，变距丝杠， 穿过磁流体密封轴承， 将运动传给真空室内的离子束刻蚀机滚珠丝杆 ， 从而带动装载试件的工作台沿导轨作往复运动。
丝杆传动的分类
它始于1921年的美国造船业，矩形丝杠生产厂家，其代表产品是美国CONE DRIVE，50年代起在我国得到推广应用。与普通圆柱蜗杆传动相比，这种蜗杆同时包容齿数多，丝杠，双线接触线形成油膜条件好，两齿面接触线诱导法曲率半径大。因此，承载能力是相同中心矩普通蜗杆的1.5～3倍（小值适应于小中心矩，大值适应于大中心矩）。
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