光学微电子净化工程结构材料
1、净化厂房墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强，圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑
3、送回风管道用热镀锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，净化工程价钱方面，冲孔网板用烤漆铝板，净化工程技术，不生锈不粘尘，宜清洁。
净化车间为何要控制温湿度？
净化车间为什么要控制温湿度?主要作用是什么，具体有什么措施?
净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，净化工程工作台，在满足加工工艺的条件下，净化工程，shou选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
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