离子束刻蚀机滚珠丝杆
刻蚀机工作台是安装刻蚀试件的基准平台，四头丝杆， 是试件扫描离子束进行持续动态刻蚀的载体， 它安装在两条滚动导轨上， 扫描运动以设置在真空室外面的伺服电机为动力源，盐城丝杆， 经1∶30 行星减速器细化步距，四头丝杆厂家电话， 再经两对1∶1 的螺旋伞齿轮传动轴， 穿过磁流体密封轴承， 将运动传给真空室内的离子束刻蚀机滚珠丝杆 ， 从而带动装载试件的工作台沿导轨作往复运动。
丝杆的防护
丝杠的防护1型升降机丝杠的防护分为：基本型、防旋转型（F）和带防护罩型（Z）；2型升降机丝杠的防护分为：基本型和带防护罩型（Z）。
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