光学微电子净化工程结构材料
1、净化厂房墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，新疆净化工程，其特点为美观、刚性强，圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑
3、送回风管道用热镀锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
洁净室中的温湿度控制
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，净化工程是比较高，冷却水管壁上会结露，净化工程设备，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最jia温度范围为35—45%。
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