净化工程FFU的特点及性能
FFU是由风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”，FFU通常安装在无尘室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上，空调净化工程设备，FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器，根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效或超高效过滤器，为无尘室提供洁净空气，风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速，FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，空气净化工程设备，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业无尘室的流行系统形式之一。
FFU具有的特点：
第yi，灵活性：因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制，在一个偌大的无尘厂房里可根据要求，分区控制，而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二，可再利用性，从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三，负压通风，这是FFU的独特特点，由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于无尘厂房负压，这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。
第四，缩短建设周期，使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，净化工程设备型号，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五，减少运行成本，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能，免维护等特点，用大循环减少40%的运行成本。
净化工程中空气净化处理方案
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，净化工程设备，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。
空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
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