净化工程中使用的惯性除尘器 为了改善重力沉降室的除尘效果，可在其中设置各种形式挡板.利用尘粒的惯性使其和挡板发生碰撞而捕集，这种除尘器称为惯性除尘器。惯性除尘器的结构形式分为碰撞式和回转式两类。气流在掩击或方向转变前速度愈高，空气净化工程设备，方向转变的曲率半径愈小，空气净化工程，则除尘效率愈高。
百叶窗式分离器也是一种惯性除尘器。含尘气流进人锥形的百叶窗分离器后，大部分气体从栅条之间缝隙流出。气流绕出栅条时突然改变方向，空气净化工程哪家好，尘粒由于自身的惯性继续保持直线运动.随部分气流(约5一20％)一起进入下部灰斗，在重力和惯性力作用下，尘拉在灰斗中分离。百叶窗分离器的主要优点是外形尺寸小.阻力比旋风除尘器小。
惯性除尘器主要用于捕集20~30μm以上的粗大尘粒，常用作净化工程中多级除尘器的di一级除尘。
洁净室中的温湿度控制
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，上海空气净化工程，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最jia温度范围为35—45%。
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