洁净室中的温湿度控制
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，如皋安装净化工程，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，安装净化工程设备，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，安装净化工程价钱，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最jia温度范围为35—45%。
净化工程水系统设备的安装注意事项
水系统设备的安装注意事项： 水系统设备有冷却水塔 冷却水塔的安装顺序同制冷机组设备的安装顺序一样，安装净化工程哪家好，均为基础---吊装就位---找平找正---紧固---试运行。 冷却塔安装的要净化工程水系统设备的安装注意事项：
水系统设备有冷却水塔
冷却水塔的安装顺序同制冷机组设备的安装顺序一样，均为基础---吊装就位---找平找正---紧固---试运行。
冷却塔安装的要求：
1、冷却塔的型号、规格、技术参数必须符合设计要求，安装的地点、相关位置、尺寸均应符合施工图。
2、冷却塔的基础必须按照施工图或生产厂家提供的尺寸施工。
3、冷却塔一般采用非阻燃性材料制作，在安装中不能再塔上焊接，并远离明火。
4、两台上以冷却塔并联使用而采用一台水泵时，为使并联的两台冷却水塔水位同高，集水盘应安装连通管。
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